● 从量块No.1到No.5,每个阶差的高度逐渐降低。
● 使用干涉仪测量相邻阶差(在检查成绩书中以0.01μm为单位列出)。相邻阶差值精度为±0.20μm。
● 可选用钢制型或陶瓷型。
● 高度差由相邻阶差的中心测得。
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使用干涉仪测量相邻阶差(在检查成绩书中以0.01μm为单位列出)。相邻阶差值精度为±0.20μm。
● 从量块No.1到No.5,每个阶差的高度逐渐降低。
● 使用干涉仪测量相邻阶差(在检查成绩书中以0.01μm为单位列出)。相邻阶差值精度为±0.20μm。
● 可选用钢制型或陶瓷型。
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